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　　檢測不到掩膜夾具翻轉信號：

　　1、檢查翻麵信號源位置

　　2、將翻麵輸入信號人工短接，使用翻麵檢測功能，計算機能檢測到信號時，證明問題在翻麵控製開關上，根據情況做相應處理。檢測不到信號首先檢查線路，然後更換控製卡。

　　掩膜夾具翻轉不穩定:

　　1、檢查翻板的初始位置是否符合時機

　　2、檢測翻麵控製開關工作是否穩定，可用指針萬用表跟蹤監測。

　　3、檢查翻轉機構動作是否靈活可靠

　　4、檢查翻麵信號次數設置

　　5、檢查旋轉工作台是否與鍾罩內壁有摩擦現象

　　6、檢測旋轉工作台在轉動時的穩定性

　　在同一掩膜夾具頻率散差大:

　　1. 檢查晶片本身是否散差大

　　2. 檢查膜層修正板位置是否變動,重新調節修正板

　　3.檢查一下擋板在開、關時是否完全遮擋住鉬舟

　　4.檢查一下轟擊環是否完遮擋住鉬舟

　　5、檢查鉬舟使用是否符合要求，要采用圓形鉬舟

　　鍋與鍋之間頻率散差大:

　　1、觀察一下監控片是否存在跳頻現象

　　2、反複測量統一監控片觀察振蕩器的穩定性(不超過75Hz)

　　3、檢查冷卻水是否通暢

　　4、檢查鉬舟使用是否符合要求，要采用圓形鉬舟

　　5、監控片選用是否符合要求，建議采用我公司的監控片

　　鍍膜頻率不停止:

　　1、檢查頻率參數設置是否正確

　　2、鉬舟電流表是否有指示

　　3、鉬舟中是否有銀

　　4、監控片是否跳頻

　　5、修正係數是否錯誤

　　6、在出現非正常退後是否更換過監控片

　　測試不到頻率:

　　1、更換一下監控片

　　2、檢查一下測試彈片是否變形

　　3、用一隻5MHz的晶體直接插入振蕩器輸入端測量頻率，若有頻率證明是探頭問題，若無頻率，用計數器測量一下振蕩器輸出頻率是否異常，無正常輸出證明振蕩器有問題，有正常輸出但計算機無顯示證明控製卡有問題

　　控製閥均不動作:

　　1. 檢查5V電源是否有輸出，是否接好

　　2. 檢查固態繼電器板上電源公共端是否有電

　　控製閥個別不動作

　　1、檢查相應的固態繼電器是否有輸出

　　未達到真空度就工作:

　　1、數字真空計出現不正常數字，且30秒內無變化，例如0.00-4(國產真空計常見)現象

　　2、指針表在真空計打開30秒後，黑色指針仍不擺動

　　監控片使用原則

　　1、監控片表麵要清洗幹淨

　　2、監控片要隨用隨鍍，空氣中暴露12小時以上禁止使用

　　3、監控片及其表麵存在存在缺陷的禁止使用

　　4、使用過程中要記錄好使用批次，嚴禁出現新舊混用

　　5、監控片反複使用壽命為3次。

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